首頁    研磨分析測控    OLAM-F11在線研磨分析測控儀
              OLAM-F11
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              OLAM-F11在線研磨分析測控儀

              用于晶片研磨時的在線實時頻率測控和數據分析,實現對研磨工序的高效管控。

              高效的晶片在線研磨過程控制

               

              —傳統的研磨控制器,控制精度較低,多盤研磨時各盤中心頻率離散較大。

              —OLAM-F11,實現研磨過程中頻率的在線精密測量,真正做到停機就可收料,實現更少的作業員管理更多的研磨機;

                高頻表現比傳統方法尤為穩定。

               

              超凡高效

               

              —擁有超高采樣頻率以及響應速率,可應對5.5—80MHz產品要求。

              —無需中途抽測再補磨,停機即可收料,有效降低對作業員的技能要求。

              —多盤研磨比傳統控制方式盤間離散性降低50%,有效提升后制程效率,降低成本。

               

              提升管控

               

              —可連接MES系統,通過局域網下傳生產工單。

              —可連接條碼槍掃描工單,與局域網下傳到OLAM的工單信息進行核對,保障加工正確。

              —實時記錄和顯示研磨速率及盤內離散狀態,用戶可制定規范,優化制程。

              —全程自動記錄并存儲儀器的操作以及參數設置狀態,可追溯整個加工過程。

              —可輸出生產數據,提供對研磨變量的綜合智能化管控與分析的依據。

              —數據可通過局域網上傳至服務器或存儲至本機SD卡。

               

              校準補償

               

              針對不同研磨環境,可在人工輸入足夠多的修正點后,提供函數擬合工具進行全頻段擬合校準,使全頻段測試更加精確。

               

              可輸出內容

               

              —實時研磨頻率

              —實時諧振頻率

              —實時單片和整盤散差

              —諧振頻率變化圖

              —整盤散差變化圖

              —歷史操作記錄

              —異常狀態提示

               

              工作原理

               

              研磨機啟動后,OLAM掃描探測信號頻率,信號經過探頭耦合到上磨盤電極,當電極滑動到石英晶片上方時,檢測電路依據“動態搜索算法”找到晶片的有效諧振波形,并根據最大傳輸法原理得到晶片的實時諧振頻率平均值,當平均值達到目標頻率后,儀器發出關停指令,使研磨機停機。

               

              安全機制

               

              1. 初始頻率異常:開始進入研磨程序后,若檢測到實時頻率和輸入的初始頻率不符合時,將停機報警。

              2. 速率閾值異常:當實時研磨速率超過或小于設定范圍時,將停機報警。

              3. 散差閾值異常:當散差與設定范圍不符時,將彈出警示窗口。

              4. 頻率跟蹤異常:當實時頻率跟蹤異常時,將彈出警示對話框或停機報警。

              5. 圈數傳感器異常:OLAM在研磨或修盤狀態下,如果超過設定的時間沒有圈數信號進入,將停機報警。

              6. 停機異常:發出停機控制信號后機器未停,將報警。

              7. 接入異常:研磨機控制接口未與OLAM可靠連接,將報警。

              8. 權限管理:可設置不同的管理權限,防止參數誤修改。

               

              技術參數

               

              外形尺寸(長寬高)

              345*320*165mm

              重量

              7.5kg

              操控界面

              7英寸觸控屏

              適合晶片切型

              AT

              探測輸入

              全頻段探頭

              動態測頻范圍

              5.5-80MHz

              動態測頻精度

              <0.2%  2000ppm

              動態測頻速度

              250Hz Max

              數據傳輸

              以太網和SD存儲卡

               

               

               

               

               

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