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首頁    研磨分析測控    OLAM-F11在線研磨分析測控儀
OLAM-F11
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OLAM-F11在線研磨分析測控儀

用于晶片研磨時的在線實時頻率測控和數據分析,實現對研磨工序的高效管控。

高效的晶片在線研磨過程控制

 

—傳統的研磨控制器,控制精度較低,多盤研磨時各盤中心頻率離散較大。

—OLAM-F11,實現研磨過程中頻率的在線精密測量,真正做到停機就可收料,實現更少的作業員管理更多的研磨機;

  高頻表現比傳統方法尤為穩定。

 

超凡高效

 

—擁有超高采樣頻率以及響應速率,可應對5.5—80MHz產品要求。

—無需中途抽測再補磨,停機即可收料,有效降低對作業員的技能要求。

—多盤研磨比傳統控制方式盤間離散性降低50%,有效提升后制程效率,降低成本。

 

提升管控

 

—可連接MES系統,通過局域網下傳生產工單。

—可連接條碼槍掃描工單,與局域網下傳到OLAM的工單信息進行核對,保障加工正確。

—實時記錄和顯示研磨速率及盤內離散狀態,用戶可制定規范,優化制程。

—全程自動記錄并存儲儀器的操作以及參數設置狀態,可追溯整個加工過程。

—可輸出生產數據,提供對研磨變量的綜合智能化管控與分析的依據。

—數據可通過局域網上傳至服務器或存儲至本機SD卡。

 

校準補償

 

針對不同研磨環境,可在人工輸入足夠多的修正點后,提供函數擬合工具進行全頻段擬合校準,使全頻段測試更加精確。

 

可輸出內容

 

—實時研磨頻率

—實時諧振頻率

—實時單片和整盤散差

—諧振頻率變化圖

—整盤散差變化圖

—歷史操作記錄

—異常狀態提示

 

工作原理

 

研磨機啟動后,OLAM掃描探測信號頻率,信號經過探頭耦合到上磨盤電極,當電極滑動到石英晶片上方時,檢測電路依據“動態搜索算法”找到晶片的有效諧振波形,并根據最大傳輸法原理得到晶片的實時諧振頻率平均值,當平均值達到目標頻率后,儀器發出關停指令,使研磨機停機。

 

安全機制

 

1. 初始頻率異常:開始進入研磨程序后,若檢測到實時頻率和輸入的初始頻率不符合時,將停機報警。

2. 速率閾值異常:當實時研磨速率超過或小于設定范圍時,將停機報警。

3. 散差閾值異常:當散差與設定范圍不符時,將彈出警示窗口。

4. 頻率跟蹤異常:當實時頻率跟蹤異常時,將彈出警示對話框或停機報警。

5. 圈數傳感器異常:OLAM在研磨或修盤狀態下,如果超過設定的時間沒有圈數信號進入,將停機報警。

6. 停機異常:發出停機控制信號后機器未停,將報警。

7. 接入異常:研磨機控制接口未與OLAM可靠連接,將報警。

8. 權限管理:可設置不同的管理權限,防止參數誤修改。

 

技術參數

 

外形尺寸(長寬高)

345*320*165mm

重量

7.5kg

操控界面

7英寸觸控屏

適合晶片切型

AT

探測輸入

全頻段探頭

動態測頻范圍

5.5-80MHz

動態測頻精度

<0.2%  2000ppm

動態測頻速度

250Hz Max

數據傳輸

以太網和SD存儲卡

 

 

 

 

 

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