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首頁    角度衍射測量    KXR-2100定角粘接機
2100
2100_v2

KXR-2100定角粘接機

用于石英晶棒切割前的高精度定角和粘接。

主要特點

 

1. Z面定角,對于不同切型的晶棒有更大的適應性。

2. X-ray發生器與博信其它測角機一致,功率小,安全,低成本。

3. 采用先進探測器及最新算法,掃描過程更加智能,保障高精度定角。

4. 測定與矯正分別由兩套獨立的高精度掃描機構完成,相互約束并相互驗證,嚴謹的機制保障結果的安全性與可靠性。

5. 作業簡單,無經驗者經過幾小時的簡單培訓,即可勝任作業。

*  Z面測定重復20次的標準偏差值約為1.5″

 

簡便的操作方式

 

1. 參數輸入

2. 標準棒校對

3. 手動放置晶棒

4. 自動掃描并判斷晶棒的姿態

5. 自動矯正晶棒的姿態

6. 對矯正后的姿態自動驗證

7. 提示點膠

8. 手動點膠完成后自動進入下一支晶棒

9. 完成整板晶棒的粘接

 

技術參數

 

電源與氣源

輸入電源

220V±10%,50Hz,2A

輸入氣源

0.5MPa,100L/min

X射線與探測

X射線管

銅靶,風冷,30W

X射線驅動電源

24.5KV,1mA

衍射方式

二級衍射

光路調整方式

可控光軌調整裝置

探測器

GEIGER COUNTER

控制系統

控制系統

KV-5500

人機界面

觸摸屏

10英寸

適合晶棒(可特殊指定)

晶棒類型

SC、AT均可

晶棒長度(mm)

120-230

定角面

Z

定角面高度(in)

1、2  (KXR-2103型號適合3inch、4inch晶棒)

定角面粗糙度

不低于200號砂加工

玻璃棒高度(mm)

≤8

粘料板(可特殊指定)

長(mm)

290

寬(mm)

160

高(mm)

16±1

最多允許粘接數量(pcs)

8

一支棒(設定5次矯正)

最小時間(sec)

≤120

最大時間(sec)

≤300

定角掃描電機

分辨率(arcsec)

<0.3

姿態矯正電機

分辨率(arcsec)

<0.5

直線模組

行程(mm)

250

允許負載(N)

400

Roll(arcsec)

≤12

數據輸出

打印輸出

USB(ESC/P-C)

定角數據輸出

以太網接口

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